真空泵系統(tǒng)是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。靠泵腔內一對葉形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。是指具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
啟動系統(tǒng)，開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，自動停止運行，中央真空系統(tǒng)內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產的要求。
真空系統(tǒng)自啟動后，全部運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。在工作中，真空系統(tǒng)內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據用戶要求進行調整。
羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。
真空泵系統(tǒng)的基礎規(guī)定是都有哪些?
1.在被抽器件或工作中房間內得到需要的極限真空泵和工作中真空度。
極限真空度就是指器件在無漏放氣時所做到的真空度,工作中真空度就是指在器件開展真空泵解決時能夠保持的真空度。
2.為得到某一工作中真空度需要的時間
這時間決策于真空系統(tǒng)抽速的尺寸。提升抽速可減少這一時間。大的個人工作室顯而易見必須大的抽速。有時候個人工作室盡管并不大，但因為漏放氣比較嚴重，則真空系統(tǒng)也必須大的抽速，不然很多的漏放氣將大幅度降低真空度，使系統(tǒng)軟件沒法工作中。
3.在被抽器件或工作中房間內有適合的殘氣成份
實踐經驗，單純性提升和確保極限真空度及工作中真空度是不足的，還解決殘留汽體成份有一定的規(guī)定。
4.真空系統(tǒng)還務必構造簡易、特性靠譜、實際操作維護保養(yǎng)便捷、價格低等
要考慮這種規(guī)定，務必從泵的挑選、管路規(guī)格的明確及布局、機械加工工藝等各個方面綜合性考慮到。所述這種基礎規(guī)定常常是互相聯(lián)絡的。
5.自動化技術規(guī)定
伴隨著電子信息技術的發(fā)展趨勢，客戶對真空系統(tǒng)的自動化技術規(guī)定也持續(xù)提高。針對真空系統(tǒng)，自動控制系統(tǒng)主要是對機械泵總流量和真空度的調整。真空度經常根據調整機械泵總流量、安裝溢流閥、減壓閥來操縱。
